旋片式真空泵與分子泵可以通過(guò)多種方式連接,具體取決于所需的真空級(jí)別和應(yīng)用需求。
一種常用的連接方式是使用氣動(dòng)隔離閥將旋片式真空泵和分子泵分開(kāi)。該閥門通常被安裝在分子泵和真空室之間,以便隔離旋片式泵和分子泵的真空系統(tǒng)。這樣可以防止旋片式泵油污染分子泵,同時(shí)還可以使分子泵更好地保持高真空。該連接方式通常適用于需要高真空和潔凈度的應(yīng)用。
另一種常用的連接方式是使用串聯(lián)連接。這種方式下,旋片式真空泵將作為分子泵的前級(jí)泵使用,以幫助分子泵在低真空時(shí)實(shí)現(xiàn)更高的抽氣速率。該連接方式通常適用于需要較高的真空級(jí)別和較大的抽氣速率的應(yīng)用。
還有其他一些連接方式,例如旋片式泵和分子泵共享同一真空室,或者將旋片式泵作為分子泵的備用泵。在選擇連接方式時(shí),需要根據(jù)具體應(yīng)用要求和系統(tǒng)性能進(jìn)行選擇。