旋片式真空泵和直聯(lián)真空泵并不完全相同,它們的工作原理、結(jié)構(gòu)和應(yīng)用范圍等方面存在一些不同。
旋片式真空泵利用旋轉(zhuǎn)的旋片將氣體不斷排出,從而形成真空。其內(nèi)部包含旋轉(zhuǎn)的旋片和刮片,形成相互之間呈偏心排列的泵腔,旋片不斷旋轉(zhuǎn)將氣體向出口端推進。旋片式真空泵適用于中低真空范圍,最高真空度可達10-2 Pa左右,適用于工業(yè)、化學(xué)、醫(yī)療等多個領(lǐng)域。
直聯(lián)真空泵則是通過活塞或者螺桿的運動將氣體不斷排出,從而形成真空。其內(nèi)部包含氣缸、活塞或者螺桿等部分,氣體在其運動的過程中被不斷排出。直聯(lián)真空泵適用于高真空范圍,最高真空度可達10-7 Pa左右,適用于半導(dǎo)體、光電、航空等高科技領(lǐng)域。
總的來說,旋片式真空泵和直聯(lián)真空泵的適用范圍和最高真空度不同,因此在選擇使用時需要根據(jù)具體的應(yīng)用場景進行選擇。