氣體進(jìn)入吸氣腔，并立即被轉(zhuǎn)子的葉片壓縮。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，它將氣體分子推向泵室，并朝向排氣，然后被排放到大氣中。
葉片是彈簧加載的，這就是葉片在轉(zhuǎn)子和泵室殼體之間形成氣密密封的方式。相反，這些葉片和轉(zhuǎn)子殼體由專門配制的低蒸氣壓的油密封，該油用作旋片真空泵的密封劑，潤(rùn)滑劑和冷卻劑。
有幾種驅(qū)動(dòng)旋片真空泵轉(zhuǎn)子的驅(qū)動(dòng)器。**個(gè)是直接驅(qū)動(dòng)器，直接驅(qū)動(dòng)器通過(guò)曲軸和聯(lián)軸器連接到旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源（大多數(shù)情況下是電動(dòng)機(jī)）。第二種驅(qū)動(dòng)類型是皮帶驅(qū)動(dòng)泵，它通過(guò)皮帶輪和皮帶連接到旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源。
直接驅(qū)動(dòng)式旋片泵通常在大約1750 RPM的溫度和70攝氏度的溫度下運(yùn)行。使用減速皮帶輪（皮帶驅(qū)動(dòng)）的泵以較低的RPM運(yùn)行。皮帶驅(qū)動(dòng)泵的工作溫度比直接驅(qū)動(dòng)真空泵低10至20攝氏度。但是，每種泵類型的工作溫度在很大程度上取決于多個(gè)因素，例如轉(zhuǎn)速，真空泵油的粘度，油的質(zhì)量，真空泵的使用年限，被抽出的氣體的質(zhì)量。 ，以及真空泵的質(zhì)量和類型。
旋片式真空泵通常有兩種類型：?jiǎn)渭?jí)或雙級(jí)，有時(shí)也稱為雙級(jí)。通過(guò)將第二轉(zhuǎn)子的進(jìn)氣口連接到**轉(zhuǎn)子的排氣口來(lái)產(chǎn)生第二階段。兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵的優(yōu)點(diǎn)是可以通過(guò)這種方式獲得較低的真空度和較高的體積流量。
與任何其他真空泵一樣，體積流量隨著真空系統(tǒng)或腔室內(nèi)部真空度的增加而減小。這是由于這樣的事實(shí)，真空室內(nèi)存在的空氣越少，從真空室或系統(tǒng)中去除其他氣體分子的難度就越大。但是，隨著jue對(duì)壓力的降低，兩級(jí)真空泵的泵性能變得更加明顯。在粗真空范圍內(nèi)，抽速基本上相同，但是當(dāng)jue對(duì)壓力超過(guò)1托時(shí)，兩級(jí)真空泵繼續(xù)保持其抽速，而單級(jí)真空泵開始下降。
從該圖可以明顯看出為什么單級(jí)真空泵優(yōu)于兩級(jí)真空泵，反之亦然。在惡劣的真空環(huán)境中，單級(jí)真空泵和兩級(jí)真空泵之間沒(méi)有區(qū)別，這意味著單級(jí)真空泵將以降低約30％至50％的成本提供相同的性能。另一方面，單級(jí)旋片真空泵的性能在1 Torr之后開始下降，而二級(jí)旋片真空泵成為顯而易見(jiàn)的選擇。
下圖顯示了帶有和不帶有氣鎮(zhèn)閥的單級(jí)和兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵的抽速。
