所用的物品：脫脂紗布（或無塵紙）、真空硅脂、廢油收集容器，、干凈無水的燒杯（或用干凈的紙
１．按照操作規(guī)程關(guān)閉全部的電源。
２．把儀器后面下側(cè)面板，左面下側(cè)面板拆下。
３．
真空泵的電源插頭拆開（P45：
真空泵的電源、P5：停電放氣閥電源），注意插頭編號(hào)，把真
空管道連接的連接器打開（圖７） ４．把真空泵從儀器中拿出來。
５．把真空泵上方的集油器打開，把集油器里的廢油清理干凈，濾芯有新的可以更換（6個(gè)月）
清理后再裝好，注意濾芯的安裝方向。（圖８）
６．把真空泵下方放好廢油收集容器，擰開真空泵下方的放油螺絲，把廢放出來，可以讓真空泵
傾斜，搖動(dòng)、加少量的新油反復(fù)沖洗幾次，把泵內(nèi)的油污洗干凈。（圖９）
７．把真空泵上方加油的螺絲擰開，用干凈無水的燒杯（或用干凈的紙代替漏斗）把新的油 加到真空泵里，加到真空泵紅色油標(biāo)靠上側(cè)（紅色油標(biāo)的上2/3處較好）（圖１０） ８．真空泵吸氣口的濾網(wǎng)的清掃，可以用分析純酒精泡濾網(wǎng)，去掉油污。（圖１１） ９．真空泵外面粉塵認(rèn)真清掃干凈，旋轉(zhuǎn)軸用吸塵器吸干凈。 １０．把真空泵放入MXF內(nèi)原位置。 １１．把P45，P5插頭查好。
１２．真空泵和真空管道連接用的O環(huán)要用脫脂紗布（或無塵紙）擦干凈，均勻涂真空硅脂，并把
和O環(huán)接觸的部分擦干凈，用真空管道連接的連接器固定真空泵和真空管道。
