CG-17玻璃三級高真空油擴散泵
GG-17玻璃膨脹系數(shù)低,能更好地耐受很高的溫度差變,故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè),如電子管。顯象管。X光管,以及半導(dǎo)體單晶
硅的冶煉提純,高沸點的油脂蒸餾提純分離,日光燈,保溫瓶高真空排氣的儀器。
工作原理
先由轉(zhuǎn)動
真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達到機械
真空泵的工作范圍
而被抽出,從而逐漸獲得高真空.
水環(huán)式
真空泵/液環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓
的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
水環(huán)泵**初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔jue;當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣
口相通時,氣體便被排出泵外。
綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔?/div>
真空泵。
羅茨泵的工作原理
羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決
于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,
在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。
但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵
外。
旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科
研部門。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒
塵埃的氣體。
旋片泵是真空技術(shù)中**基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得
較高的真空度。
旋片泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10
-1(Pa)下,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時,靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵
腔內(nèi)壁滑動。
兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強,因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔jue時,即轉(zhuǎn)**空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,**后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排**大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排**大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔,因
而提高了極限真空度。
Regen 其實就是再生,把之前吸附在Cryo Pump(冷凝泵)的兩級冷頭(Cold Header)上面的氣體排除出去。因為cryo pump是把氣體吸附和冷凝在它的冷頭上,經(jīng)過一段時間后,冷頭就會達到飽和,它的吸附冷凝的效果就會大幅度的下降,進而chamber里面的壓力就達不到制程所規(guī)定的要求。所以就是需要進行Regen。在半導(dǎo)體工業(yè)中,使用到Cryo pump的主要有兩個部門,Thin Film 的PVD 還有IMP(離子植入)。PVD是高真空的制程,IMP 則需要在高真空的環(huán)境下產(chǎn)生比較純的離子來植入到wafer表面。Cryo pump 一般有兩個冷頭來吸附不同的氣體,**級主要是用來吸附水氣,第二級要來吸附氮氣,氬氣等氣體不純的雜質(zhì)氣體,但是cryo pump對小分子量的氣體的吸附能力比較的弱,比如氫氣氦氣就不能完全吸附在冷頭上,所以在第二級冷頭背后增加了活性炭材料來吸附這些小分子的氣體。cryo Pump的壓縮機是使用氦氣來做熱交換媒介的。cryo pump的型號,在8寸和12寸的應(yīng)用材料的Endura機器上有一些差別。主要是12寸的on board 控制器對cryo pump 中的運動活塞的速度在做Regen的時候速度是8寸的兩倍,所以大大的減少了Regen所需要的時間。 Cryo pump的Regen有兩種Fast Regen 和Full Regen。5 ]8 ) c' [/ Z; h
Fast regen 就是兩個冷頭的溫度只是上升到大概150K左右,然后進行purge,然后cool down。) x& A& ~" N3 e
Full regen 就是兩個冷頭的溫度上升到室溫大概300K左右,然后進行Purge,。。。。。然后cool down。