1 總則
通過(guò)對(duì)
真空泵正確地日常維護(hù)，周期保養(yǎng)和維修，確保設(shè)備正常、安全、可靠、經(jīng)濟(jì)運(yùn)行，保證工藝要求、生產(chǎn)出合格產(chǎn)品。 2 各類泵的技術(shù)性能
2.1 機(jī)械增壓泵──羅茨泵 2.2 滑閥泵 2.3 復(fù)合分子泵 3 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)述
3.1 ZJP型羅茨泵
該型泵是一種容積式
真空泵，帶溢流閥，它是利用一對(duì)8 子形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的，且進(jìn)排氣口連通，在通道上垂直地裝置著一個(gè)自重閥，其作用是當(dāng)排氣口和進(jìn)氣口的壓力差和閥的有效作用面積的乘積超過(guò)閥頭的自重時(shí)，閥頭就會(huì)自動(dòng)頂開(kāi)閥座，使排氣口和進(jìn)氣口的壓力差始終保持在一個(gè)可控制的數(shù)值內(nèi)。 兩個(gè)轉(zhuǎn)子被支承在泵殼側(cè)面端蓋的滾動(dòng)軸承中，依靠一對(duì)可調(diào)的同步齒輪使二個(gè)轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)始終保持著一定的相互位置，而轉(zhuǎn)子與端蓋之間的端面間隙是靠固定端軸承座下面的可調(diào)金屬墊片來(lái)保證，使泵在工作時(shí)因受熱而轉(zhuǎn)子只能向一面膨脹。 端蓋內(nèi)的四組內(nèi)軸封是為了防止兩側(cè)潤(rùn)滑油進(jìn)入泵殼，出軸處油封是為了防止氣體漏入泵體內(nèi)。
該型泵采用臥式結(jié)構(gòu)，采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián)，動(dòng)力由聯(lián)軸器傳給主動(dòng)軸，再通過(guò)同步齒輪傳動(dòng)從動(dòng)軸。 3.2 滑閥泵
該型泵主要由泵體、滑閥、滑閥導(dǎo)軌、偏心輪、帶輪等零件組成。上部設(shè)有六組圓盤形排氣閥。
排氣閥主要由彈簧和被彈簧壓緊的閥片等零件組成。當(dāng)泵內(nèi)氣體和油，從排氣閥排出時(shí)，經(jīng)過(guò)化霧器，然后由方油箱內(nèi)的油氣分離器進(jìn)行油氣分離，氣體排**大氣，油經(jīng)過(guò)濾油口過(guò)濾，然后通過(guò)壓差由固定隔板、滑閥隔板的油孔輸送**偏心輪，滑閥、泵腔等活動(dòng)部分，隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，被壓縮的氣體和油又由排氣閥排出，因此本型泵的潤(rùn)滑均是自動(dòng)進(jìn)行。泵的轉(zhuǎn)動(dòng)部分及進(jìn)氣的結(jié)合面采用橡膠密封，泵體與泵蓋紙墊用描圖紙或青殼紙。 3.3 復(fù)合分子泵
復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子
真空泵 4 運(yùn)行中的注意事項(xiàng)
4.1 運(yùn)行中必須嚴(yán)格按照各類泵的技術(shù)規(guī)格使用，泵不允許長(zhǎng)時(shí)間超過(guò)允許**高入口壓力情況下工作。
4.2 注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升情況。在正常情況下，泵的**高溫升不得超過(guò)40℃，**高溫度不得超過(guò)80℃。
4.3 運(yùn)轉(zhuǎn)中不應(yīng)有不規(guī)則的異常振動(dòng)。 4.4 如發(fā)現(xiàn)在運(yùn)轉(zhuǎn)中有電機(jī)過(guò)載，溫升過(guò)高，聲音異常，振動(dòng)大等情況應(yīng)立即停機(jī)檢查原因，排除故障。 5 維護(hù)保養(yǎng) 5.1 定期檢查
5.1.1 每日檢查
a 油位檢查：機(jī)械泵油位由運(yùn)行工每班巡檢，維修工每日巡視一次，復(fù)合分子泵油位由維修工每日巡視一次。
b 溫度檢查：運(yùn)行工每班手感檢查。 c 電動(dòng)機(jī)負(fù)荷檢查：運(yùn)行工每班檢查。 d 保持泵房及泵的清潔、干燥。 5.1.2 每月檢查
a 聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動(dòng)，皮帶的松緊地腳螺絲是否松動(dòng)。 b 復(fù)合分子泵法蘭連接口螺絲是否松動(dòng)，水冷卻流量是否正常。 5.1.3 每三個(gè)月檢查
a 潤(rùn)滑油是否變質(zhì)或結(jié)碳，放清泵內(nèi)原油，清洗泵體、清除污垢更換新油。 b 清洗滑閥泵濾油器中的銅絲網(wǎng)，確保油泵供油正常。 c 復(fù)合分子泵油質(zhì)。
5.1.4 每六個(gè)月檢查：油封、密封件是否損壞。 5.1.5 每一年檢查
a 羅次泵軸承是否磨損
b 羅茨泵活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。
c 羅茨泵齒輪微量程度的磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。 d 滑閥泵的閥片。
e 復(fù)合分子泵濾網(wǎng)清洗，更換新潤(rùn)滑油；羅茨泵、滑閥泵清洗。 f 檢查冷卻水路是否暢通。
5.1.6 新泵工作150小時(shí)后換油一次，以后油一般3～6個(gè)月?lián)Q一次。 5.2 拆裝
5.2.1 羅次泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時(shí)，須根據(jù)以下注意事項(xiàng)進(jìn)行： a 未拆卸前，先測(cè)量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。
b 盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，要妥善保管好。 c 將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來(lái)。 d 重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。 e 無(wú)密封墊襯或密封圈的靜密封面用漢高樂(lè)泰“515”（510）厭氧密封膠涂抹， 用于靜密封的橡膠密封件需涂上真空考克脂，溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任何油脂。 f 根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。
e 滑閥及滑閥導(dǎo)軌組件。 f 偏心輪、平鍵及軸。 5.2.2.2 排氣閥拆卸程序 a 方油箱組件 b 罩式化霧器 c 彈簧及主閥體 d 導(dǎo)管 e 排氣閥片
裝配時(shí)則次序相反。 5.2.2.3 注意事項(xiàng)
a 不能直接用榔頭敲打加工面（密封面）。 b 裝入時(shí)要仔細(xì)清洗零件。 c 注意密封面不能漏氣及漏油。 5.2.3 復(fù)合分子泵
5.2.3.1復(fù)合分子泵清潔步驟 a 關(guān)斷電源并切斷電源插頭。 b 關(guān)斷水管并卸下冷卻水管。 c 拆下入口法蘭和前級(jí)連結(jié)螺絲。
d 清理泵口防護(hù)網(wǎng)罩內(nèi)雜物，嚴(yán)禁有異物從泵口掉入。 e 疏通并清除冷卻水管內(nèi)的水垢，保持冷卻水流量充作。
f 拆下泵底儲(chǔ)油杯，倒出陳油，清洗油杯更換新油，檢查油杯口密封圈良好后安裝上油杯，確保密封口不能漏油漏氣。 6 故障原因及其消除方法 6.1 羅茨泵
